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Personen: Wegscheider, S. (Autor) 
Kirsch, A. (Autor) 
Mlynek, J. (Autor) 
Krausch, Georg (Autor) 
  
Titel: Scanning near-field optical lithography
  
Quelle: Thin solid films. Bd. 264. H. 2. Amsterdam : Elsevier. S. 264 - 267
Erscheinungsjahr:    1995
ISBN / ISSN: 0040-6090
URL der Originalveröffentlichung doi:10.1016/0040-6090(95)05818-4
  
Dokumentart:
Zeitschriftenaufsatz Zeitschriftenaufsatz
Sprache: Englisch
Open Access:
Person der Universität:   
Einrichtung: Universitätsleitung
DDC-Sachgruppe:    Physik
ID: 53597  Universitätsbibliothek Mainz
Hinweis:
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Abstract: We discuss the influence of lateral fiber vibrations on the lateral resolution in scanning near field optical lithography using a tapered optical fiber. The fiber tip acts as a sub-wavelength sized light source to perform high-resolution photolithography in a commercial linear photoresist. After exposure and development, the structures are investigated by atomic force microscopy and a mechanical replica of the optical near field is revealed. We were able to create structures with lateral dimensions below . The aspect ratio and the overall shape of the lines are found to depend on the lateral vibrations of the fiber tip needed to perform the shear-force distance measurement.
   
  
Verfügbarkeit prüfen:    Rechercheportal Mainz: 0040-6090
  KatalogPortal Mainz (inklusive FB 06): 0040-6090
  Elektronische Zeitschriftenbibliothek (EZB): 0040-6090
 


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